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納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量系統(tǒng)基于白光干涉儀原理、結合Z向精密壓電掃描模塊和三維重建算法準確獲 得各種精密器件和材料表面形貌數(shù)據(jù)，適用于反 射率0.05%-100%、超光滑至粗糙等多種表面測量求，能夠實現(xiàn)納米級精度測量、重構表面形 貌3D輪廓。
產品型號：PZ-Mico D
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3D光學輪廓測量儀使用Sensofar技術開發(fā)的neox光學輪廓儀，其共聚焦部分的主要優(yōu)點是有著*發(fā)光效率的照明硬件和高對比度算法。這些特點使系統(tǒng)成為測量有著陡峭斜面、粗糙的、反光表面和含有異種材料樣品的理想設備。高品質干涉光學系統(tǒng)和集成壓電掃描器是干涉輪廓儀部分的關鍵。這項技術對于測量非常光滑至適度粗糙的表面比較理想。這些技術的組合為neox輪廓儀提供了無限寬廣的應用領域。
產品型號：PZ-3000S瀏覽量：5223
3D光學輪廓顯微鏡使用光學輪廓儀，集成了共聚焦計數(shù)和干涉測量技術，并具有薄膜測量能力，該系統(tǒng)可以用于標準的明場彩色顯微成像，共焦成像，三維共焦建模，PSI、VSI及高分辨率薄膜厚度測量。
產品型號：PZ-3010D瀏覽量：2143
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